颗粒物与金属离子双控,助力您的产品通过半导体晶圆厂严格稽核
您的半导体螺丝、阀门接头、腔体法兰、陶瓷件等精密零部件,是否正面临以下问题?
表面颗粒物(≥0.1μm)检测超标,被晶圆厂退货;
金属离子溶出(Fe/Cu/Zn/Na/K)无法满足客户越来越严的管控指标;
自建清洗线投入大、周期长,且水质不稳定、维护成本高;
缺少百级以上洁净环境,清洗后二次污染无法避免。
重庆国志水处理环保设备有限公司——专注半导体级精密清洗服务,用设备制造商的底层技术,保障清洗水质的**纯净。
1. 自建18.2MΩ·cm超纯水制水系统
产水电阻率稳定维持在18.2MΩ·cm(25℃),TOC<5ppb;
在线颗粒计数器实时监控,≥0.1μm颗粒数<1个/mL;
系统全自动运行,水质数据可追溯、可导出,支持客户现场稽核。
2. 百级无尘清洗车间(ISO Class 5)
车间内洁净度满足半导体机械零部件清洗最高等级要求;
正压环境+高效过滤送风,清洗后干燥、包装均在百级环境下完成;
杜绝空气悬浮颗粒对已洗净零部件的二次附着。
3. 兆声波清洗机组(Megasonic Cleaning)
兆声波频率精准匹配亚微米颗粒去除需求,对精密螺纹、盲孔、沟槽结构无损高效清洗;
配合专用清洗剂与超纯水终漂洗工艺,实现颗粒与金属离子的双重脱除;
适用于不锈钢、钛合金、铝合金、陶瓷、石英等多种材质。
4. 全流程质量管控
来料检查→兆声波粗洗→超纯水中段漂洗→兆声波精洗→超纯水终端抛光环流冲洗→百级环境下热风干燥→真空包装→出库检测;
每一批次可提供清洗前后颗粒度对比数据及金属离子溶出检测报告(ICP-MS)。
| 优势维度 | 国志方案 |
|---|---|
| 水质保障 | 设备自主研发制造,不依赖外购超纯水,水质完全自主可控 |
| 环境保障 | 百级无尘车间,清洗-干燥-包装全流程洁净闭环 |
| 工艺保障 | 兆声波+超纯水组合,不损伤精密螺纹及表面光洁度 |
| 稽核保障 | 提供完整清洗记录、水质报表、第三方检测报告,助力您通过客户验厂 |
| 成本优化 | 无需自行投入数百万元建设清洗产线,按批次或年度服务灵活结算 |
| 服务效率 | 重庆潼南生产基地,辐射西南及全国,紧急订单3个工作日内交付 |
半导体设备用高精密螺丝(M1-M20,含不锈钢/钛合金/特种合金);
半导体设备腔体法兰、密封接头、气动接头;
光刻机/蚀刻机/镀膜机用精密轴套、垫片、滤壳;
石英件、陶瓷绝缘子、硅电极等硬脆材料零部件;
其他对颗粒与金属离子有严苛要求的精密机械零部件。
需求沟通:客户提供零部件图纸、材质、洁净度要求及批次量;
工艺打样:免费提供样品清洗测试,出具清洗前后检测对比数据;
方案确认:确定清洗工艺路线、包装方式及交付周期;
批量作业:按约定批次排产,每批次附随货检测报告;
质量追溯:所有清洗记录、水质记录存档≥3年,随时备查。
“我们之前外协清洗的M6不锈钢螺丝,客户反馈颗粒物超标。国志团队用兆声波+超纯水方案重新清洗后,颗粒数从平均12个/mL降至0.3个/mL,顺利通过了某头部晶圆厂的年度稽核。关键是,他们能提供完整的清洗数据链,这在同业中很少见。”——某半导体装备供应商 质量总监
重庆国志水处理环保设备有限公司
服务基地:重庆市潼南区(具体门牌号请补充)
业务专线:192-6407-2658(工作日 8:30-17:30)
支持来样测试、现场考察、紧急批次加急处理
