重庆某晶圆封装超净水应用案例

水质标准：符合晶圆封装超纯水标准

部分指标:

在线电阻率：（25度）≥18M

总有机碳（TOC）：<5ug/L

溶解氧（DO）:≤25ug/L

颗粒:尺寸0.05-0.1um≤1个/L

细菌总数:≤5个/100mL

金属离子: Na、Ca、Fe、Cu、CI、K<0.05 ug/L

全硅:<5ug/L

设备制造商：东莞仟净环保设备有限公司

安装公司：重庆国志水处理设备有限公司

地址：重庆市潼南区