电子级超纯水设备应用案例

半导体制造对生产用水纯度要求严苛，超纯水品质直接决定芯片良率与性能。重庆潼南区某半导体企业因产能升级，需匹配1000L/H的高精度超纯水供给，

最终选用重庆净业环保设备有限公司的电子级超纯水系统，由重庆国志水处理设备有限公司负责现场安装与全周期运维。

本项目采用“双级RO反渗透+EDI电除盐+SMB抛光混床+UV紫外线杀菌+MF精密过滤+UF超滤”全流程深度处理工艺，以市政自来水为原水，

通过多级预处理去除泥沙、胶体等杂质，双级RO与EDI实现高效脱盐，SMB抛光混床进一步提纯水质，结合UV杀菌与精密过滤彻底消除微生物、颗粒等污染风险，

构建稳定的超纯水制备体系。

设备额定产水量达1000L/H，可满足生产线连续用水需求，出水在线电阻率稳定维持在18.2MΩ·cm，完全符合电子级超纯水国家标准，

各项指标均覆盖半导体芯片制造、封装环节的严苛要求。重庆国志水处理专业团队完成现场布局优化与精准调试，系统集成智能在线监测模块，实时监控水质参数并自动预警异常，

实现无人值守式稳定运行，大幅降低人工运维成本。

项目投运后，既保障了半导体生产的水质稳定性，又通过高效工艺实现水资源循环利用，能耗较传统设备降低15%，成为重庆地区半导体行业超纯水应用的典型示范案例。